דער אַרבעט פּרינציפּ פון די דיפיוזשאַן וועלדינג מאַשין איז דער הויפּט כולל די ווייַטערדיק שליסל סטעפּס און קאַמפּאָונאַנץ:
יקערדיק אַרבעט פּרינציפּ: דיפיוזשאַן וועלדינג מאַשין אַרבעט אין וואַקוום אָדער פּראַטעקטיוו אַטמאָספער סוויווע, און ניצט הויך טעמפּעראַטור און דרוק צו מאַכן דעם מאַטעריאַל צו פאַרשטיין אַטאָמיק דיפיוזשאַן קשר אין האַרט שטאַט {{0 {} די ספּעציעלע פּראָצעס איז צעטיילט אין דריי סטאַגעס:
ייבערפלאַך קאָנטאַקט בינע: די וואָרקפּיעסע וועט זיין וועלדעד איז אין נאָענט קאָנטאַקט אונטער דער קאַמף פון דרוק און טעמפּעראַטור, און די מיקראָ-קאַנוועקס טייל אַנדערגאָוז פּלאַסטיק דיפאָרמיישאַן צו פאַרגרעסערן די וואַקוום סוויווע רימוווז אַקסאַדאַד אַקיומאַנץ.
דיפיוזשאַן ביטש: הויך טעמפּעראַטור ז אַטאָמס צו דיפיוז אַריבער די צובינד צו פאָרעם היגע מעטאַללורגיקאַל באַנדינג {{0} דרוק פּראַמאָושאַנז נאָענט קאָנטאַקט פון די צובינד און ראַדוסאַז פּאָראָסיטי {{}
באַנד דיפיוזשאַן און קערל גרענעץ מייגריישאַן בינע: אַטאָמס מיד דיפיוז אין די מאַטעריאַל, קערל, קערל באַונדריז מייגרייט און ריאָרגאַנייז, די צובינד ביסלעכווייַז פאַרשווונדן, די וניפאָרם מעטאַללורגיקאַל קשר איז געשאפן}}
שליסל פּראָצעס פּאַראַמעטערס:
טעמפּעראַטור: דאַנסאַז די אַטאָמישע דיפיוזשאַן קורס {{0} אויך אַ טעמפּעראַטור קען פירן צו קערל קאָאַרסענינג {{1} די טיפּיש קייט איז 0 {{{4 {{05 {{dn} די טיפּיש קייט פון דעם}.
דרוק: העכערן נאָענט קאָנטאַקט פון די צובינד און רעדוצירן פּאָראָסיטי {{0} די טיפּיש קייט איז 5 ~ 50 מפּס {{3 {{3 {{3 {{3 {{3 {3 {{3 {3 {{3 {{3 {3 {{3 {3 {3 {{3 {{3 {3 {{3 {3 {{3 {{3 {3 {{3 {3 {{3 {3 {{3 {3 {{3 {3 {{3 {{3 {{3 {{3 {3 {{3}
צייט: אַפעקץ די דיפיוזשאַן טיפקייַט {{0} צו לאַנג קענען צו רעדוצירן עפעקטיווקייַט {{1} די טיפּיש קייט איז 10 מינוט צו עטלעכע שעה {{3 {{dne ף
וואַקוום: פאַרהיטן אַקסאַדיישאַן און באַזייַטיקן ייבערפלאַך אַדסאָרבעד גאַז {{0} די טיפּיש וואַקוום איז ווייניקער ווי אָדער גלייַך צו 10:01 {{{d}
ויסריכט זאַץ און וואָרקפלאָוו:
האַרץ קאַמפּאָונאַנץ: אַרייַנגערעכנט וואַקוום סיסטעם (מעטשאַניקאַל פּאָמפּע + מאָלעקולאַר פּאָמפּע גרופּע), באַהיצונג סיסטעם (קעגנשטעל באַהיצונג אָדער ינדאַקשאַן אָדער ינדאַקשאַן אָדער מעטשאַניקאַל דרוק קאָפּ) און קאָנטראָלירן סיסטעם (פּלק אָדער קאָמפּיוטער קאָנטראָל פון טעמפּעראַטור, דרוק, דרוק, דרוק, דרוק, דרוק, קאַורגיע)}}}}}}
טיפּיש וואָרקפלאָוו: וואָרקפּיעסע צוגרייטונג (ייבערפלאַך פּאַלישינג, רייניקונג, רייניקונג, רייניקונג, הויפט וואַשיומינג, באַהיצונג און פּרעשעריזיישאַן, היץ וישאַלט, קאָאָלינג און דרוק רעליעף {0 {}
טעכניש פֿעיִקייטן:
אַדוואַנטאַגעס: ניט דאַרפֿן צו צעלאָזן די פאָטער מאַטעריאַל, ויסמיידן טערמאַל קראַקס, פּאָרעס און אנדערע פוסיאָן וועלדינג חסץ, פּאַסיק קאַנפעקץ פּאַסיק פֿאַר הויך-פּינטלעכקייט, הויך-פּינטלעכקייט, קיין ספּאַטעריש מאַטעריאַלס}
לימיטיישאַנז: לאַנג פּראָצעס ציקל, איז נישט פּאַסיק פֿאַר מאַסע פּראָדוקציע; הויך קאָסטן .
